樹脂封止装置
WCM-330

【圧縮成形技術】
WLP用オートモールディング装置

モールド

販売元

アピックヤマダ株式会社

概要

  • FOWLP/FIWLPに対応した高精度、高品質な全自動モールディング装置
  • 4軸直動モータ採用による高精度なプラテン平行度を実現
  • MUF成型技術を可能にする高圧力85tonプレスを搭載
  • 樹脂供給は、液状、顆粒どちらも対応可能
  • チップカウント、外観検査、ポストキュア、IPカメラなどのオプション
  • 安全仕様:SEMI S2(準拠)、SEMI S8/CE(オプション)

特長

  • 対象サイズ: 8インチ、12インチ、SUSキャリアφ350mm Max
  • 上下FAME搭載により、高品質なフルモールド成型を実現
  • 4軸サーボモータの独立制御を行いモータパラメータの変更でプラテン傾き調整が可能
  • 8段階の樹脂フローコントロールによりWLP成型の品質を追求
  • 反りウエハでも安定した高速搬送を実現 
  • ウエハ接触部位は静電気破壊対策実施(ESD対策)

使用例

上下FAME搭載により、高品質なフルモールド成型を実現

製品スペック

項目内容
ユーティリティ電源3相 AC200V, 50Hz/60Hz
エアー0.6MPa, 500L/min.(ANR)以上
装置サイズ *1ショート(2ロードポート)(W)5,165 x (D)3,405 x (H)2,360mm
ロング(4ロードポート)(W)6,365 x (D)3,405 x (H)2,360mm
装置重量ショート(2ロードポート)約 13,500Kg
ロング(4ロードポート)約 15,000Kg
処理能力1ウエハ/ショット/プレス
サイクルタイム約14UPH *2
モールドサイズMax. φ330mm
樹脂液状 & 顆粒
金型搭載数1型/プレス
プレス方式直動式下型ムービング
型締め能力49~833kN
ベースユニットタイプチェイスチェンジタイプ

*1 装置サイズは、2タイプ(ショート、ロング)、液状樹脂と顆粒樹脂の供給する仕様です。
   装置サイズにシグナルタワー、モニター等は含みません。
*2 この処理能力は、次の条件時のものです。 《プレスキュアタイム:400sec / ディスペンスタイム:150sec》
※改善、改良のため仕様、外観を予告無く変更する事があります。

設置寸法

WCM-330 Short type

WCM-330 Long type

関連製品

CONTACT

お問い合わせ

製品や各種お問い合わせについては
こちらから

お問い合わせ一覧