概要
- FOWLP/FIWLPに対応した高精度、高品質な全自動モールディング装置
- MUF成型技術を可能にする高圧力85tonプレスを搭載
- 樹脂供給は、液状、顆粒どちらも対応可能
- チップカウント、外観検査、ポストキュア、IPカメラなどのオプション
- 安全仕様:SEMI S2(準拠)、SEMI S8/CE(オプション)
特長
- 対象サイズ: 8インチ、12インチ、SUSキャリアφ350mm Max、ガラスパネル320x320mm Max
- 上下FAME搭載により、高品質なフルモールド成型を実現
- 8段階の樹脂フローコントロールによりWLP成型の品質を追求
- 反りウエハでも安定した高速搬送を実現
- ウエハ接触部位は静電気破壊対策実施(ESD対策)
使用例
上下FAME搭載により、高品質なフルモールド成型を実現
製品スペック
| 項目 | 内容 |
|---|
| ユーティリティ | 電源 | 3相 AC200V, 50Hz/60Hz | |
| エアー | 0.6MPa, 500L/min.(ANR)以上 | ||
| 装置サイズ *1 | ショート(2ロードポート) | (W)5,165 x (D)3,405 x (H)2,360mm | |
| ロング(4ロードポート) | (W)6,365 x (D)3,405 x (H)2,360mm | ||
| 装置重量 | ショート(2ロードポート) | 約 13,500Kg | |
| ロング(4ロードポート) | 約 15,000Kg | ||
| 処理能力 | 1ウエハ/ショット/プレス | ||
| サイクルタイム | 約14UPH *2 | ||
| モールドサイズ | Max. φ330mm | ||
| 樹脂 | 液状 & 顆粒 | ||
| 金型搭載数 | 1型/プレス | ||
| プレス方式 | 直動式下型ムービング | ||
| 型締め能力 | 49~833kN | ||
| ベースユニットタイプ | チェイスチェンジタイプ | ||
*1 装置サイズは、2タイプ(ショート、ロング)、液状樹脂と顆粒樹脂の供給する仕様です。
装置サイズにシグナルタワー、モニター等は含みません。
*2 この処理能力は、次の条件時のものです。 《プレスキュアタイム:400sec / ディスペンスタイム:150sec》
※改善、改良のため仕様、外観を予告無く変更する事があります。