| 品名 | マイクロパーティクルピッカー |
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| 型式 | CAP-series |
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| 対象製品 | イメージセンサー、ガラスフィルター、その他半導体製品 |
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| 対象製品サイズ | ５×５mm～１５×１５mm |
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| 対象キャリアサイズ | Ｌ: １８６ ～ ２００ｍｍ
Ｗ: ４５ ～ １１０ｍｍ
T : ０．２ ～ ２ｍｍ |
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| 装置タクト | 1.2秒／個 UPH3000（異物数 0個／キャリア）
2.1秒／個 UPH1750（異物数 3個／キャリア）
※異物の状態・数量・付着状況・装置の設定条件等によりタクトタイムが遅くなる可能性があります |
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| クリーン度 | ＩＳＯ Ｃｌａｓｓ４
※検査ステージのキャリア吸着ステージ付近 |
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| 使用環境 | 温度 ２５±５ ℃
湿度 ３０ ～ ７０％ |
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| 搬送パスライン | ９５０+１５/-１０ mm ※ＳＭＥＭＡ 準拠 |
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| 駆動源 | 入力電源
単相 AC２００V～２２０V、２０A
エアー
０．５MPa、２０NL/min ドライクリーンエア
真空
真空ポンプ付属 |
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| 装置寸法および質量 | 本体部：幅1010×奥行き900×高さ1650 ｍｍ
バッファコンベア部：幅470×奥行き380×高さ1210 ｍｍ
※ＦＦＵ（HEPAユニット）、パトライト等の突起部を除く |
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