树脂封装装置
WCM-330 MS

【压缩成形技术】
手动WLP成型系统

塑封成型机

销售方式

APIC YAMADA CORPORATION

概述

  • 高精度、高质量的FOWLP/FIWLP/EWLP手动造型机
    通过四轴线性运动马达实现高精度的压板平行度 "AYC专利"。
    用于MUF成型技术的85吨高压压机
    可提供液体、颗粒和片状树脂
    符合SEMI S2标准，SEMI S8/CE可选
  • FOWLP：扇出式晶圆级封装
    FIWLP: 扇入式晶圆级封装
    EWLP: 嵌入式晶圆级封装

特点

  • 广泛的目标尺寸范围：。8英寸晶圆，12英寸晶圆，SUS载体φ350mm（orifla 340mm），□330mm
  • 高质量的全模具成型是由上、下FAME实现的。
  • 对4轴伺服电机的独立控制，可以通过改变电机参数来调整压板倾斜度。
  • 8级树脂流量控制，用于高质量的WLP成型。

可选支持

广泛的目标尺寸范围：。8英寸晶圆，12英寸晶圆，SUS载体φ350mm（orifla 340mm），□330mm

产品规格

项目内容
动力源电源3相 AC200/220V, 50/60Hz
空气0.5MPa, 100NL/min 以上
装置尺寸标准(W)2,270 x (D)1,435 x (H)2,070mm
选项。完整的模具支持(W)2,270 x (D)2,000 x (H)2,070mm
装置重量标准約 4,200Kg
选项。完整的模具支持約 4,360Kg
能力1片晶圆／shot
晶圆尺寸Max. φ12英寸、 Max. □ 330mm
树脂液体状体、颗粒、条状
金型搭載数1副模具／压机
压机方式电动压机
合模能力49 ~ 833kN
FAME供給自动
模盒单元类型模具可更换

* 装置尺寸不包括信号塔等。
※因改善、改良，规格、外观可能在无事先通知的情况下进行变更。

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