| 品名 | 微颗粒除尘机 |
|---|
| 型号 | CAP-series |
|---|
| 目标产品 | Image sensors, glass filters, and other semiconductor products |
|---|
| 目标产品尺寸 | 5×5mm～15×15mm |
|---|
| 作业对象载物架尺寸 | L:186～200mm
W:45～110mm
T:0.2～2mm |
|---|
| 设备节拍时间 | 1.2秒/个 UPH3000（异物数量0个/载具）
2.1秒/个 UPH1750（异物数量3个/载具）
根据异物状况、数量、附着状况、设备设定条件等，节拍时间可能会延迟。 |
|---|
| 清洁度标准 | ISO Class4
*在检测台的载具吸附台附近测量 |
|---|
| 使用环境 | 温度25±5℃
湿度30-70% |
|---|
| 传送线 | 950+15/-10mm ※符合SMEMA标准 |
|---|
| 驱动源 | 输入电源
单相AC200V~220V，20A
空气
0.5MPa、20NL/min 干燥洁净的空气
真空
真空泵 |
|---|
| 机器尺寸重量 | 本体：长1010×宽900×高1650毫米
缓冲输送部：长470×宽380×高1210mm
*不包括 FFU（HEPA 裝置）和信号塔等突出物 |
|---|
