| 品名 | 微粒子拾取器 |
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| 型号 | CAP-series |
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| 目標產品 | Image sensors, glass filters, and other semiconductor products |
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| 目標產品尺寸 | ５×５mm～１５×１５mm |
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| 作业对象载物架尺寸 | Ｌ: １８６ ～ ２００ｍｍ
Ｗ: ４５ ～ １１０ｍｍ
T : ０．２ ～ ２ｍｍ |
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| 设备节拍时间 | 1.2秒/個 UPH3000（異物數量0個/載體）
2.1秒/個 UPH1750（異物數量3個/載體）
根據異物狀況、數量、附著狀況、設備設定條件等，節拍時間可能會延遲。 |
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| 清洁度标准 | ＩＳＯ Ｃｌａｓｓ４
*檢測台載體吸附台附近的測量 |
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| 使用环境 | 溫度25±5℃
濕度30-70% |
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| 传送线 | ９５０+１５/-１０ mm ※符合ＳＭＥＭＡ标准 |
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| 驱动源 | 输入电源
單相AC200V~220V，20A
空气
０．５MPa、２０NL/min 乾燥潔淨的空氣
真空
包括真空幫浦 |
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| 机器尺寸重量 | 主體：寬1010×深900×高1650毫米
緩衝輸送單元：寬470×深380×高1210mm
*不包括 FFU（HEPA 裝置）和信號塔等突出物 |
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