PRO-series(new)

硬化炉
PRO-serise PCO-serise

水晶デバイス製造

クリーン硬化炉

販売元

株式会社PFA

概要

  • 金属製トレーに配列された水晶デバイス(振動子、発振器、フィルターなど)の導電性接着剤を一定の温度曲線に制御されたクリーンなN2雰囲気内で加熱し、乾燥硬化する装置です。
  • ブランク搭載機とインライン接続が可能です。ローダはブランク搭載機から搬出された金属製トレーを受取り、炉内に搬送します。
  • アンローダは炉から出てきた金属トレーを専用マガジンに収納します。

特長

  • HEPAフィルターを介した熱風循環方式による安定した雰囲気加熱炉と、温度急勾配などに対応するヒータブロック式(トレー直接加熱)硬化炉があります。
  • 熱風循環方式は、ベルトコンベア搬送方式とウォーキングビーム搬送方式選択できます。
  • ヒータブロック式硬化炉は、ウォーキングビーム方式に対応します。
  • 熱風循環式ウォーキングビーム硬化炉は、パーティクルの発生を最小限に抑え、よりクリーンな雰囲気での加熱が可能です。
  • ベルトコンベア式熱風循環炉は、生産能力が高く、硬化炉1台に対してブランクマウンターを最大4台まで連結可能です。
  • それぞれの加熱炉共に、N2雰囲気による加熱を行い、製品の酸化を防止します。

使用例

  • 金属製トレーに配列された水晶デバイス(振動子、発振器、フィルターなど)の導電性接着剤を定の温度曲線に制御されたクリーンなN2雰囲気内で加熱し、乾燥硬化する装置です。
  • 複数のブランク搭載機とインライン接続が可能です。
  • ローダはブランク搭載機から搬出された金属製トレーを受取り、炉内に搬送します。
  • アンローダは炉から出てきた金属トレーを専用マガジンに収納します。
【オプション対応】
  • ベルトコンベア式硬化炉の場合、最大4台のブランク搭載機をインライン接続が可能です。
  • ウォーキングビーム式硬化炉の場合、最大2台のブランク搭載機をインライン接続が可能です。
  • 酸素濃度計を付属可能です。

製品スペック

項目内容
対象ワークSMD型水晶デバイス
(水晶振動子、水晶発振器、水晶フィルターなど)
温度制御各ゾーン毎にPID制御(独立)
※ゾーン数は温度プロファイルによって異なります。
温度条件最高温度:320℃、 温度精度:±10℃
搬送装置ベルトコンベア式連続送り搬送
(SUS製メッシュベルト+石英製ベルト受け)、
ウォーキングビーム式搬送
炉内雰囲気N2雰囲気、クリーン度クラス100以下、
酸素濃度100ppm以下可能
加熱方式

ベルト式・・・熱風循環方式
ウォーキングビーム式・・・熱風循環方式・ヒータブロック方式

部材供給・排出SUS製トレーをインライン供給・排出
外形寸法硬化炉の外観寸法は温度プロファイル条件やトレー外形によって異なります。
参考寸法:
(W3630)×(D1650)×(H1670)㎜
(パトライトなどの突起物除く)
オプションブランク搭載機とインライン接続が可能。
酸素濃度計を付属可能。

※ 性能改良のため、外観及び仕様の一部を変更することがありますのでご了承ください。

設置寸法

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