| 項目 | 内容 |
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| 対象ワーク | 水晶片（水晶ブランク） |
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| 対象ワークサイズ | 3.2×2.5、2.5×2.0、2.0×1.6、1.6×1.2、1.2×1.0（㎜）用の水晶ブランク
※ただし、標準仕様は寸法が近い3品種 |
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| 対象厚み | 20μm～200μm（これ以下の厚みにつきましては、ご相談ください。） |
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| 画像位置補正 | 成膜用金属マスクの位置補正、ブランク位置補正と回転方向補正 |
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| ワーク供給 | 平板トレー（ばらまきトレー） |
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| ワーク収納 | 成膜用金属マスク（10段マガジンにセット） |
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| サイクルタイム | 約1.5秒／個 |
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| 挿入率 | 98%以上 |
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| 外形寸法 | W1000×D1000×H1670㎜（ヘパフィルター、パトライトなどの突起物除く） |
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| オプション | 洗浄パレットなどへの移載が可能です |
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※ 性能改良のため、外観及び仕様の一部を変更することがありますのでご了承ください。
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