| 項目 | 内容 |
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| 対象ワーク | 音叉型水晶振動子ウエハ（機種変更は、専用部品の交換により対応可能です。） |
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| 対象ワークサイズ | 4インチウエハ以下 |
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| 同時測定数 | 同時プロービング数：80チップ以下 |
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| 画像位置補正 | チップ位置 |
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| 部材供給・収納 | ローダ：マガジンよりウエハ供給、 アンローダ：ウエハをマガジン収納 |
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| サイクルタイム | 約0.5秒／個 ※チップの個数、加工膜の厚み、加工量、加工回数によってタクトは変動します。 |
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| 外形寸法 | 【NGチップ折り取り機能付き】
W1400×D1600×H1800㎜（ヘパフィルター、パトライトなどの突起物除く）
【NGチップ折り取り機能無し】
W1000×D1500×H1750㎜（ヘパフィルター、パソコン、パトライトなどの突起物除く） |
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| オプション | 同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下に増設可能
専用治具交換より複数品種対応 |
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※ 性能改良のため、外観及び仕様の一部を変更することがありますのでご了承ください。
