| 型号 | PTFM-10 | PWM-10 |
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| 対象ワーク | 音叉型水晶振動子ウエハ（専用部品の交換により機種変更可能です。） | AT型水晶振動子ウエハ（専用部品の交換により機種変更可能です。） |
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| 対象ワークサイズ | 最大4インチウエハ | 最大4インチウエハ |
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| 同時測定数 | 同時プロービング数：最大80チップ | 同時プロービング数：最大20チップ |
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| 部材供給・収納 | ローダ：マガジンよりウエハ供給、 アンローダ：ウエハをマガジン収納 | ローダ：マガジンよりサブトレー供給、 アンローダ：サブトレーをマガジン収納 |
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| 外形寸法 | W1000×D1500×H1750㎜（ヘパフィルター、パソコン、パトライトなどの突起物除く） | W1050×D1540×H1800㎜（ヘパフィルター、パトライトなどの突起物除く） |
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| オプション | 同時プロービング数を81チップ以上160チップ以下に増設可能
専用治具交換より複数品種対応 | 専用治具交換より複数品種対応 |
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