PFA製ディスペンサー「PFD‐10」のご紹介

厚膜の面塗布が可能なディスペンサー「PFD‐10」
～ＰＦＡ製のフラットノズルとモーターによるディスペンス量制御で、均一で安定的な厚膜塗布が可能に～

株式会社PFAは、近年注目されているシンタリング市場に参入すべく、シンター材の塗布を行うフラットディスペンサー「PFD‐10」を開発しました。
シンター材のほか、高性能半導体やパワー半導体の放熱や保護を目的として使用される各種TIM（Thermal Interface Material）材料の塗布にも活用できます。
専用ノズルにて塗布幅を調整し、ノズル内部の構造により200～500μm程度の均一な厚膜塗布を可能にしました。変位計にて塗布前に高さ計測を行うため、凹凸のある基板にも塗布が可能となっています。また局所的に塗布することで印刷機と比較し、20～30％の材料ロスを低減でき、材料のコストダウンに貢献します。

フラットディスペンサー「PFD-10」

市場の背景と製品の概要

車載向けパワーモジュールは、複数の半導体チップを基板に搭載したパッケージに冷却器を接合する構造になっており、その接合材料として、耐熱性と放熱性を兼ね備える焼結材（シンター）による接合に注目が集まっています。特に、冷却器と基板を接合するパッケージアタッチと呼ばれる工程においては、冷却器などに反りがあり、薄い膜の塗布だと接合の信頼性が落ちてしまうため、厚膜の塗布ができるディスペンサーのニーズに応えるべく、焼結材を冷却器に対して均一かつ厚膜で塗布できるフラットディスペンサーを開発しました。

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株式会社PFA
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