技术术语/词汇表

Overhead Hoist Transport (OHT)的简称。
指在吊挂状态下保持FOUP等搬运物安装在天花板上的无人轨道运行的自动搬运设备。通过吊车机构（皮带驱动的上下动作），从半导体制造设备的上方直接访问各装载端口。