技术术语/词汇表

安装在半导体制造设备前端的机构，用于接收 AMHS / PGV / 运营商提供的 FOUP。
主要功能包括 FOUP 的固定，连接和分开以及 FOUP 门的打开/关闭。
因此，它也被称为“FOUP 开启器”。并且，上下料端口中有侦测 FOUP 中晶圆分布情况的功能。