技术术语/词汇表

设备前端模块 (EFEM) 的简称。
一种在正面具有传送 FOUP 的机构，并将晶圆传送到进行蚀刻等处理的加工设备。
主要功能是对准器/晶圆搬送用机器人/FFU（Fan Filter Unit）。
设备内部通过控制FFU的气流实现高清洁性能。