灵活封装贴片机
FPB-1ws NeoForce

倒装贴片机

销售方式

株式会社新川

设备概述

  • 对应Chip to Wafer TCB工艺的灵活封装贴片机
  • 可通过短时间切换,对应Chip to Substrate 的TCB工艺
  • 可对应Face down工艺(Face up工艺为选配)
  • 可对应TCB(NCP/NCF/TC-CUF)、C2、C4、FO-WLP等工艺

特征・特点

  • 通过独自的NVS (Non Vibration System) 技术,实现高精度贴片
  • 通过FFG[Force Free Gantry],可对应高达350N的高荷重
  • 使用高速脉冲温控系统,可以在短时间内进行加热/冷却,实现高产出
  • 具有工艺监控及管理功能,实现品质稳定及工艺便携性
  • 可对应各种吸取方式,可搬送薄芯片
  • 通过产品品种自动切换功能,具备可进行4种不同芯片的贴片功能,可对应2.5D、3D叠层
  • 通过Multi Head功能,实现高产出/小型化
  • 灵活支持各种选项
    1. Face up工艺
    2. 大型芯片(□35mm)的TCB安装
    3. 将FLUX材料转录供应给芯片的功能
    4. 从带盘供给芯片
    5. 通过OHT供给Base Wafer

使用实例

为了连接、抓取纤薄之物、Pulse Vacuum Reverse Multi Step (PV-RMS)

向多展的NAND存厚度,在即使包含粘结层的情况下,切薄至30um。如此薄,很容易弯曲和碎裂。了粘元器件,抓取芯片的技必不可少,但同时处理极薄的芯片面极大的困。巧妙地利用元器件弯曲特性的抓取方式是Pulse Vacuum Reverse Multi Step(PV-RMS)。通从sheet外部断性地真空排气,利用弯曲芯片的恢复力,促使芯片高效剥离。不仅仅是薄芯片,于易坏的Through Silicon Via (TSV)构造等芯片同有效,在未来子元器件粘结领域,可

FPB-1ws NeoForce使用例1

高效连接、多段芯片一次性贴片

随着芯片的纤薄化、高密度化、大型化的发展,对于倒装芯片时的弯曲·装配精度提出了高要求。作为其解决方法,提案了Thermal Compression Bonding(TCB)工艺、适用于应用TSV (Through Silicon Via)最尖端存储(HBM、HMC等)。此工艺是在加压、加热的同时,进行电极端的锡铅合金接合以及Underflow的固化,由于此工艺需要10秒左右的单件工时,限制了生产力的提高。
新川对可能适用于多枚芯片一并粘结的各种工艺(Gang bonding, Collective bonding等),进行了各种核心技术的基础研究·开发。通过各项核心技术的确立和高速TCB Bonder FPB系列的并用,在ECTC2017上公告了可以使生产力提升约20倍的研究成果。

FPB-1ws NeoForce使用例2

宣传视频

简易规格表

项目内容
品名灵活封装贴片机
型号FPB-1ws NeoForce
贴片工艺TCB工艺(NCP/NCF/TC-CUF),C2/C4工艺,FO-WLP工艺
贴片精度±2.5μm (3σ) 根据本公司实装条件
UPHUPH 6,000 (C4 mode/不包含工艺时间) 根据本公司实装条件
贴片荷重0.3~350N
※根据Bonding条件可选择荷重的控制方式
但是,同一个焊接程序内,高荷重控制和低荷重控制不可切换。
・低荷重控制方式:0.3~20N
・高荷重控制方式:10~350N
贴片工具温度设定室温~400℃ (1℃/Step、脉冲加热)
贴片台温度设定室温~200℃ (1℃/step)
芯片尺寸□1~22mm、t=0.02~0.7mm(□22mm以上 : 选购件 / 具体内容另行协商)
晶圆尺寸φ200mm,φ300mm
基础晶圆尺寸φ300mm (φ200mm 可选)/ 基板
贴片方向Face down (Face up:选购件:条件需要商量)
选购件通信接口 SECS II,HSMS,GEM
驱动源输入电源单相 AC 200~240V±5% 50/60Hz(如电压不同,需商量)
消费电力最大 14.0kW
空气570kPa (5.7kgf/cm2) ,300L/min,接口:φ10 Tube 3处
真空-75kPa (-550mmHg)以下 (测量压),接口:φ10 Tube 3处
机器尺寸重量约2,520W x 1,620D x 1,750H mm 约3,100kg (不包含显示器、信号灯)

※ 为了改善机器的性能,外观和规格有部分变更的可能,请谅解。

安装尺寸

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