専門用語集/用語解説

ワイヤボンディングの接合方法の一種。ボンディングワイヤを直接、電極と接合する。固体金属同士を接合する、接合エネルギとして、熱をヒータから供給し、超音波振動と荷重をキャピラリツールを経由して伝える。主にワイヤボンディングの2番目以降の接合に用いられるが、1番目にも使用可能である。ウェッジツールを用いる場合は、ウェッジボンディングと呼ばれる。