専門用語集/用語解説

キャピラリツールの位置帰還システム。Reference Positioning Systemの略称。ワイヤボンディング工程で、位置の基準となる位置決めピンとキャピラリツールの先端を同時にXYの両方向から撮像することにより、自動で位置ずれ量を検出し、補正する。高信頼なワイヤボンディングを支える機能である。