専門用語集/用語解説

ダイボンディング、フリップチップボンディングで使用される突き上げ機能。ダイシング工程で個片化されたチップを、突き上げピンで押し上げウェハシートから剥離させる。突き上げと同時にコレットで吸着することでチップをピックアップする。チップのサイズ、厚みに応じて突き上げピン以外にも様々な方式がある。