専門用語集/用語解説

Overhead Hoist Transport (OHT)の略称。
FOUPなどの搬送物を吊り下げ状態で保持して、天井に設置された軌道レールを走行する無人の自動搬送装置のこと。
ホイスト機構（ベルト駆動による上下動作）により、半導体製造装置の上方から各ロードポートにダイレクトにアクセスします。