専門用語集/用語解説

無反動サーボ制御システム。Non Reaction Servo systemの略称。ダイボンダやワイヤボンダの駆動部の加減速時の反動による振動を吸収する機構。架台全体の振動や、駆動部間の振動の相互干渉を抑制できるため、ボンディング精度や安定性を確保し、且つ生産性を向上できる。