専門用語集/用語解説

MEMS(振動子・発振器)(読み方:メムス(シンドウシ・ハッシンキ))

水晶発振器は、水晶振動子の基本波発振を源振とし構成された発振器。
Si 共振子を源振とするMEMS発振器は、温度補正を行うために回路及び任意の周波数を得るためのPLL回路を持つ。
シンプルな構造の水晶発振器に対してMEMS 発振器は、性能をコントロールするために共振子、PLL、温度補正の構造が必要。

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