専門用語集/用語解説

半導体製造装置のフロント部に設置され、AMHS/PGV/オペレータから供給されたFOUPを受け取る機構のこと。
主な機能としては、FOUP のクランプ、ドッキングとアンドッキング、FOUP ドアの開／閉などがある。
このため「FOUP オープナー」と呼ばれる場合もある。
またロードポートの中には、FOUP 内のウェーハをマッピングする機能を持つ種類などがある。