専門用語集/用語解説

General Equipment Model (GEM)の略称。
ホストコンピュータと半導体製造装置が接続し、遠隔で装置状況を監視したり操作を行うための通信プロトコルのこと。
SEMI Standardにて規定されていて、製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデルと呼ばれている。
一般的に、半導体の製造ラインで使用される。