専門用語集/用語解説

Front-Opening Unified Podの略称。
半導体工場において、ウェーハまたはガラスキャリアを別工程へ搬送・保管するための密閉型容器のこと。
容器の前面に開閉機構を持ち、半導体製造装置とのインターフェース機能を持つ。
ミニエンバイロメント方式で、ウェーハ周囲のクリーン度を保つために密閉している。