専門用語集/用語解説

Equipment Front End Module (EFEM)の略称。
前面にFOUPを受け渡す機構を持ち、エッチングなどの処理を行うプロセス装置へウェーハの受け渡しを行う装置のこと。
主な機能として、アライナー／ウェーハ搬送用のロボット／FFU（Fan Filter Unit）を備えている。
機器の内部は、FFUの気流制御により 高いクリーン性能を実現している。