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概要
- 従来比約3倍の生産性と約2倍の高精度搭載を実現。拡大するフリップチップ市場に「半導体組み立て革命」を。
- 高速 8部品同時吸着・同時転写で13,000UPH
- 高精度 ±5µm(3σ)
- 高品質・汎用性
特長
- デュアルフリップヘッドによるパラレル処理と8部品同時のボンディングプロセスにより、高速搭載を実現
- 高剛性フレームと制御アルゴリズムにより、優れた位置決め精度を実現
- 高性能な位置補正用バンプ認識カメラの搭載
- 小型荷重制御ヘッド
- □2~□30mmの幅広いチップサイズに対応
- 設計変更が容易なフラックス転写ユニットを
使用例
ボンディング工程
高速 8部品同時吸着・同時転写で13,000UPH
1.デュアルボンディングヘッドマルチノズル(8ノズル/ヘッド)
8ノズルのヘッドを2基装備。高精度な荷重制御を行う小型ヘッドでチップの薄型化にも対応。
![YSB55w ボンディング工程2](https://www.yamaha-robotics.com/hs-fs/hubfs/yrh-corp/product/skw/YSB55w/YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B2.png?width=452&height=220&name=YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B2.png)
2.デュアルフリップヘッド
2基のフリップヘッドを装備し、パラレル処理を実現。
![YSB55w ボンディング工程3](https://www.yamaha-robotics.com/hs-fs/hubfs/yrh-corp/product/skw/YSB55w/YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B3.png?width=513&height=388&name=YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B3.png)
3.マルチダイサプライ
フリップヘッド1基に対し2基のサプライユニットを装備。ロスタイム無しで部品供給が可能。
![YSB55w ボンディング工程4](https://www.yamaha-robotics.com/hs-fs/hubfs/yrh-corp/product/skw/YSB55w/YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B4.png?width=611&height=406&name=YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B4.png)
高精度 ±5μm(3σ)
1.高剛性フレーム&ビーム
徹底した構造解析と実験検証に基づいて開発した高剛性フレームにより高加減速駆動と高精度を両立。
![YSB55w ボンディング工程5](https://www.yamaha-robotics.com/hs-fs/hubfs/yrh-corp/product/skw/YSB55w/YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B5.png?width=406&height=443&name=YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B5.png)
2.自社開発リニアモータ/ドライバー
専用設計により高速性と優れた位置決め精度を実現。
※ 軸停止の測定結果例
![YSB55w ボンディング工程6](https://www.yamaha-robotics.com/hs-fs/hubfs/yrh-corp/product/skw/YSB55w/YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B6.png?width=488&height=418&name=YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B6.png)
3.高分解能チップ認識カメラ
バンプの欠落チェックと、バンプ基準での位置補正を精密に行い、高い搭載精度を実現。
![YSB55w ボンディング工程7](https://www.yamaha-robotics.com/hs-fs/hubfs/yrh-corp/product/skw/YSB55w/YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B7.png?width=400&height=252&name=YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B7.png)
4.高精度を安定して実現
当社独自の多重搭載精度補正システムMACSの機能を向上し搭載精度±5μm(3σ)を確保。
新開発の熱解析・熱補正アルゴリズムにより高精度搭載を継続的に維持。
高品質・汎用性
1.新開発転写ユニット
フラックス転写膜厚をワンタッチで設定変更可能。段取り時間と手間を削減。
![YSB55w ボンディング工程8](https://www.yamaha-robotics.com/hs-fs/hubfs/yrh-corp/product/skw/YSB55w/YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B8.png?width=546&height=363&name=YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B8.png)
2.ノズルステーション(ANC自動ノズル交換)
□2~30mmの部品サイズに対応するノズルを自動交換。品種切り替えの手間を削減。
※ 軸停止の測定結果例
![YSB55w ボンディング工程9](https://www.yamaha-robotics.com/hs-fs/hubfs/yrh-corp/product/skw/YSB55w/YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B9.png?width=485&height=323&name=YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B9.png)
3.ウエハ供給装置
エキスパンド機構及びθ補正機構付のウエハ供給装置を標準装備。
![YSB55w ボンディング工程10](https://www.yamaha-robotics.com/hs-fs/hubfs/yrh-corp/product/skw/YSB55w/YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B10.png?width=491&height=412&name=YSB55w%20%E3%83%9B%E3%82%99%E3%83%B3%E3%83%86%E3%82%99%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%AF%E3%82%99%E5%B7%A5%E7%A8%8B10.png)
プロモーション動画
製品スペック
項目 | 内容 |
---|---|
品名 | パッケージボンダ |
型式 | YSB55w |
対象基板 | L240×W200~L50×W50mm |
基板厚 | 0.2~3.0mm |
搬送方向 | 左→右(オプション:右→左) |
搭載精度 | ±5µm(3σ)(当社標準部品による保証値) |
搭載能力 | 13,000UPH(プロセス時間含む最適条件時) |
部品供給形態 | 12インチウエハ |
対象部品 | □2~30mm |
電源仕様 | 三相AC 200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60Hz |
供給エア源 | 0.45MPa以上 |
外形寸法 | L2,090×D1,866×H1,550mm(ウエハ供給装置装着時) |
質量 | 約3,500kg (ウエハ供給装置装着時) |
※ 仕様・外観は改良のため予告なく変更することがあります。