フリップチップボンダ
YSB55w

フリップチップボンダ

販売元

株式会社新川

概要

  • 従来比約3倍の生産性と約2倍の高精度搭載を実現。拡大するフリップチップ市場に「半導体組み立て革命」を。
  • 高速 8部品同時吸着・同時転写で13,000UPH
  • 高精度 ±5µm(3σ)
  • 高品質・汎用性

特長

  • デュアルフリップヘッドによるパラレル処理と8部品同時のボンディングプロセスにより、高速搭載を実現
  • 高剛性フレームと制御アルゴリズムにより、優れた位置決め精度を実現
  • 高性能な位置補正用バンプ認識カメラの搭載
  • 小型荷重制御ヘッド
  • □2~□30mmの幅広いチップサイズに対応
  • 設計変更が容易なフラックス転写ユニットを

使用例

ボンディング工程

高速 8部品同時吸着・同時転写で13,000UPH

1.デュアルボンディングヘッドマルチノズル(8ノズル/ヘッド)

8ノズルのヘッドを2基装備。高精度な荷重制御を行う小型ヘッドでチップの薄型化にも対応。

YSB55w ボンディング工程2

2.デュアルフリップヘッド

2基のフリップヘッドを装備し、パラレル処理を実現。

YSB55w ボンディング工程3

3.マルチダイサプライ

フリップヘッド1基に対し2基のサプライユニットを装備。ロスタイム無しで部品供給が可能。

YSB55w ボンディング工程4
高精度 ±5μm(3σ)

1.高剛性フレーム&ビーム

徹底した構造解析と実験検証に基づいて開発した高剛性フレームにより高加減速駆動と高精度を両立。

YSB55w ボンディング工程5

2.自社開発リニアモータ/ドライバー

専用設計により高速性と優れた位置決め精度を実現。

※ 軸停止の測定結果例

YSB55w ボンディング工程6

3.高分解能チップ認識カメラ

バンプの欠落チェックと、バンプ基準での位置補正を精密に行い、高い搭載精度を実現。

YSB55w ボンディング工程7

4.高精度を安定して実現

当社独自の多重搭載精度補正システムMACSの機能を向上し搭載精度±5μm(3σ)を確保。
新開発の熱解析・熱補正アルゴリズムにより高精度搭載を継続的に維持。

高品質・汎用性

1.新開発転写ユニット

フラックス転写膜厚をワンタッチで設定変更可能。段取り時間と手間を削減。

YSB55w ボンディング工程8

2.ノズルステーション(ANC自動ノズル交換)

□2~30mmの部品サイズに対応するノズルを自動交換。品種切り替えの手間を削減。

※ 軸停止の測定結果例

YSB55w ボンディング工程9

3.ウエハ供給装置

エキスパンド機構及びθ補正機構付のウエハ供給装置を標準装備。

YSB55w ボンディング工程10

プロモーション動画

製品スペック

項目内容
品名パッケージボンダ
型式YSB55w
対象基板L240×W200~L50×W50mm
基板厚0.2~3.0mm
搬送方向左→右(オプション:右→左)
搭載精度±5µm(3σ)(当社標準部品による保証値)
搭載能力13,000UPH(プロセス時間含む最適条件時)
部品供給形態12インチウエハ
対象部品□2~30mm
電源仕様三相AC 200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60Hz
供給エア源0.45MPa以上
外形寸法L2,090×D1,866×H1,550mm(ウエハ供給装置装着時)
質量約3,500kg (ウエハ供給装置装着時)

※ 仕様・外観は改良のため予告なく変更することがあります。

設置寸法

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