| 項目 | 内容 |
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| 装置サイズ | 900mm(W)× 900mm(D) × 1800mm(H) |
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型式対応パネルサイズ | ～9インチ
Min:30(L)× 30(W) t=0.15( × 2)
Max:210(L)× 150(W) t=1.1( × 2) |
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| サイクルタイム | ※１辺検査
3.0sec/pcs:IC (L 33mm) × 1
3.5sec/pcs:IC (L 30mm) × 1 , FPC(L 40mm) × 1,Panel size < “5”
※全面検査Optionあり の場合は＋1sec |
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| 分解能 | 0.5μm/pix |
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| オートフォーカス | 常時視野内AF |
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| ラインスキャンカメラ スキャン速度 | < 70mm/sec |
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※ 性能改良のため、外観及び仕様の一部を変更することがありますのでご了承ください。
